在高质量地提供合格动力产品的基础上，做好环保和安全是动力工厂工作的第一职责。安全工作以管理为基础，环境保护以系统配置和维护作为保证。
• 德国 ETH 公司的废水处理系统
废水处理系统主要处理 5 英寸硅片生产线排放的含氟废水、酸碱废水以及 40 吨 / 小时纯水系统再生废水等工业污水。其中含氟废水处理能力达 40 吨 / 小时；酸碱废水处理能力达 80 吨 / 小时。整个废水处理系统采用 PLC 自动控制，对于现场品质由德国 ETH 公司仪表进行监控，意大利 FIP 公司生产的气动阀自动对系统投加化学药剂。整个系统运行稳定可靠，达到国内废水处理的一流水平。
• 国产华晶的废气处理系统
废气处理系统主要处理 5 英寸硅片生产线排放的工业废气。该系统采用华晶集团生产的竖式喷淋吸收塔，主要处理氢氟酸废气、氯化氢废气、环乙烷废气、乙酸丁酯废气及砷废气等。废气处理系统电源之间能够自动切换，风机采用一用一备的工作方式，发生故障时能够自动开关风阀和风机，保证 24 小时在线处理，达到国内先进水平。
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