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•  美国 Applied Membranes 公司的纯水制备系统简介

      动力工厂纯水系统从美国 Applied Membranes 公司引进。整套系统采用先进的二级反渗透制水工艺,设计产水量为 40 吨 / 小时。系统采用 Allen-bradely SLC500 型 PLC 处理器集中控制,由微机对系统参数进行监控。 2002 年,纯水系统经过改造,产水量增至 60 吨 / 小时。

•  美国 DAW 公司开发的空调系统简介

      DAW 空调系统是引进美国的洁净空气制备系统。该空调的洁净面积为 7028 平方米,整套系统采用 GCM 下挂 LCM 和 MZ2 型 DDC 控制模式。由中央微机对系统参数进行集中监控,通过温湿度、正压传感器、差压传感器采集现场信号作用于电动阀执行器、变频器及其它控制器的阀门,并通过总线传输、微机处理、信号反馈从而做到温、湿度,正压值恒定。

•  美国 McQuary 公司的离心式制冷系统

      硅片制造一厂制冷系统原为 3 台 McQuary 公司 800 冷吨的离心式制冷机组以及相应的冷却水系统组成。每台制冷机组均配有先进的自动控制和调节功能,做到平稳高效运行,所采用的制冷剂 R134a 均为新型绿色环保产品。 2004 年硅片制造一厂再扩产,硅片制造三厂上马,动力工厂又购置 800 冷吨 TRANE 离心式制冷机组三台以及相应的冷却系统。从而,满足了生产。

•  美国寿力公司的喷油螺杆式空气压缩机

      动力工厂压缩空气制备系统为 5 英寸硅片生产线上的设备、纯水制备系统和芯片测试中心的设备提供压缩空气 (CDA) 。 CDA 制备站主要设备由 LGD-6/10-X 型低噪声螺杆压缩机、 LS16-75HWC24KT 型寿力喷油螺杆式压缩机、 LFE350 加热干燥剂再生式干燥器和 PCR 、 MPCR 型精密过滤器等构成。




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